半導体業界向けのIchor Metal Gasket Face Seal Fittings

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なぜメタルガスケットフェイスシールフィッティングが半導体業界のニーズを満たすのですか？

半導体業界は、より小さくて低電力の消費チップを追求し続けているため、プロセスノードが小さくなっているため、プロセスの清潔さに需要が高まります。標準以下の清潔さは、製品の質の欠陥につながる可能性があり、製品ライン全体の汚染を広めることさえ、製品スクラップの深刻な結果をもたらす可能性があります。

半導体業界で使用される高純度と超高純度（UHP）流体システムでは、継手の選択が重要なポイントの1つです。溶接継手はしばしば選択されますが、定期的な交換またはメンテナンスを必要とする接続には適していませんが、Oリングフェイスシールフィッティングの非金属材料はメディアと互換性がない場合があります。インストールして分解しやすく、メディアと互換性があり、信頼できるシールを確保できるフィッティングはありますか？答えは、金属ガスケットフェイスシールフィッティングです。シーリング要素として金属ガスケットを使用するこれらの継手の主な利点は、次のとおりです。

• 金属間のハードシール、良好なシーリングパフォーマンス：ナットを締めると、両端の腺が両方向から金属ガスケットを絞り、腺シーリング表面の硬さは金属ガスケットの硬度よりも高くなるため（316Lステインレス鋼のシール表面は109 hVが109 hv hv harge of metal of metal gasmedよりも硬いです。シーリング性能を確保するために、腺と金属ガスケットの間にタイトなフェイスシールが形成されます。 ICHOR製品の場合、銀メッキ316Lステンレス鋼、銀メッキニッケル、銅ガスケットを使用する場合、最大ヘリウム漏れ速度は4x10 ^-9 STD CM ³ /sであり、316Lステンレス鋼とニッケルの電子調整ガスケットを使用する場合、最大ヘリウム漏れ速度は4x10 ^-11 STD CM ³ /sです。

• 繰り返し再組み立てと使用：絞りた金属ガスケットは腺のシーリング表面に損傷を与えないため、時間ごとに1つのガスケットの変更で再組み立てされ、繰り返し使用でき、メンテナンスコストが低くなります。
• デッドゾーンも残留物もパージしやすいものもありません。金属ガスケットフェイスシールフィッティングの構造により、シーリング要素をガスによって完全にパージすることができ、残留物による汚染のリスクが排除されます。
• インストールと分解が簡単：これらのフィッティングは、インストールが簡単で、従来のツールのみを分解でき、インストールとメンテナンスの効率を大幅に改善できます。

Ichor EFRシリーズメタルガスケットフェイスシールフィッティングの製品は何ですか？

典型的な金属ガスケットフェイスシールフィッティングアセンブリは、腺、ガスケット、雌ナッツ、オスのナッツで構成されています。これらの部品に加えて、Ichor EFRシリーズの金属ガスケットフェイスシールフィッティングには、ボディ、プラグ、キャップ、フロー制限装置ロックデバイスなども含まれます。

その中で、金属ガスケットを分解するたびに交換する必要があり、現在はIchorは7種類の金属ガスケットを提供しています。

1.非保持ガスケット：最も一般的に使用されるガスケット。

2.ガスケットリテーナーアセンブリ：ガスケットは、リテーナーによって腺のシーリング表面に固定されているため、設置方向に限定されず、ガスケットは完全に中央にあります。

3.サイドロードリテーナー：ラジアルマウント、タイトなスペースへの設置に適しています。

4.ブラインドガスケット：一時的なプラグとして。

5. snubberガスケット：パイプラインの圧力変動の影響を減らすための穴の金属フィルター。

6.Knurled Gasket：ガスケットの外側のリングは、ゆるみを防ぐために設置後に糸を鳴らし、腺に関与します。

7.制約ガスケット：正確なフロー制御のために設計されています。

8.ルビーオリフィス制限ガスケット：高温耐性、広範な化学的適合性、耐摩耗性のためのルビーオリフィス。

シーリングパフォーマンスを確保するために、ichorの設置手順に従って適切な操作が必要です。まず、フィッティングのシーリング表面とガスケットに深刻な傷やその他の欠陥があることを確認し、シーリング表面が良好な状態であることを確認し、腺、ガスケット、雌ナッツ、雄ナッツを組み立て、ナッツを指で締めます。レンチを使用して、雄のナットをさらに締めながら、雄のナットをさらに締め、ステンレス鋼とニッケルガスケットの場合は1/8回転します（ノールガスケットの場合は3/8回転）、銅ガスケットの場合は1/4回転します。

FRシリーズメタルガスケットフェイスシールフィッティングインストール手順

ICHORは、ダイアフラムバルブ、ベローズシールバルブ、計量バルブ、圧力調節因子、ポイント使用パネル、切り替えシステム、積分ガスシステムなど、ダイアフラムバルブ、ベローズ密集バルブ、メーターバルブ、圧力調節剤など、高純度および超高純度製品の包括的な範囲を提供します。インストール手順とトレーニングサービスも利用できます。 Ithorは常に、専門製品と専門サービスでお客様のさまざまなニーズを満たすことに取り組んでおり、お客様の価値を生み出し続けています。