WシールとCシールの紹介

半導体機器で使用される統合ガスシステム（IG）は、通常、ダイアフラムバルブ、チェックバルブ、レギュレーター、フィルター、圧力センサー、質量フローコントローラー、基板などのコンポーネントで構成されています。これらのコンポーネントは通常、表面に取り付けられており、WシールまたはCシールのいずれかを使用して密閉されています。シーリングタイプの選択は、システムのシーリングパフォーマンスを決定する上で重要です。この技術の講演では、WシールとCシールの類似点と相違点について説明します。

WシールとCシールの類似性

WシールとCシールはどちらも金属シールのタイプです。ゴムや複合材などの非金属シールとは異なり、金属シールは、圧縮のために時間の経過とともに劣化することはなく、化学的な互換性が良好です。 ICHOR Wシールガスケット（IWGシリーズ）およびCシールガスケット（ICGシリーズ）は、ICHOR超高純度プロセス（FC-03）に従って316Lまたは316LのVarステンレス鋼で作られています。これらのガスケットは、Ra≤5μinの表面粗さに到達するために電気塗装されています。 （0.13μm）、半f19 UHPに適合します。優れたシーリング性能により、シーリングフェイスリークレート（ヘリウム）≤1×10 ^-9 STD CM ³ /s。

溶接シールまたは金属ガスケットのフェイスシールと比較して、WシールとCシールはよりコンパクトであり、ガス送達システムのサイズを大幅に削減できます。限られた流れを必要とする場合には、指定されたオリフィスを備えたシーリングガスケットが利用可能です。

WシールとCシールの違い

Wシールガスケット（IWGシリーズ）は、「フローティング」構造で設計されており、シーリング面が外力を受け取るコンポーネントとは独立していることを可能にします。設置中、ガスケットのシーリング面は、表面に取り付けられたコンポーネント（Wシールバルブ本体など）に圧縮され、基板を形成し、シールを形成します。各Wシールはシステムに個別にインストールでき、システムレイアウトが変更されると簡単に削除および再インストールできます。さらに、iChorサービスキット（モデル番号：SC-IGS-11）は、W-Sealガスケット用のガスケットピンセットを提供して、ガスケットの高品質の設置を確保しています。

Cシールガスケット（ICGシリーズ）のセクションは、両側に2つのフラットシーリングボスを持つ文字「C」に似ています。適切に締められると、ガスケットの上部と下部が表面に取り付けられたコンポーネント（Cシールバルブ本体など）と基板の硬化したシーリング面に対して衝突し、シールを作成します。さらに、Cシールガスケットブラケットは、一度に複数のガスケットを見つけるのに役立ちます。